中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9276699 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、TEL (TOKYO ELECTRON)製のフォトレジスト機器です。ファブリケーションプラントのウェーハやその他のマイクロエレクトロニクス部品の加工には、半導体業界で使用されています。このシステムは、ウエハを紫外線にさらすことによって機能し、ポリマー材料またはフォトレジストコーティングの触媒として機能します。このコーティングは、酸溶液で特定の領域にエッチングしてウェーハ上に望ましい構造を作成することができます。このプロセスは集積回路の製造に必要であり、わずか数分で高精度なパターンや形状を作成することができます。TEL Mark Vは、高効率で信頼性の高い完全自動化ユニットです。クローズドループウェーハアライナー、高解像度モニタ、デジタル信号処理などの高度な機能を備えています。これにより、ウェーハの位置と動きを正確に追跡することができ、フォトレジストコーティングの精密な加工が可能になります。このツールには、ほこりや破片による汚染を低減するウェーハ輸送資産と、フォトレジストの均一な分布を保証するレジストコーティングチャンバーが装備されています。トーキョーエレクトロンマーク-Vは、効率的な設計に加え、幅広いプロセス能力を提供します。これは、負、正、およびデュアルメタル層などのさまざまな種類のフォトレジスト材料を処理することができます。このモデルには、アプリケーションによって異なるパターンを生成できる「デルタライン」という機能も含まれています。これにより、Lithography、 Etching、 Plating、 metallization、およびデバイス構造などのさまざまな種類のタスクにMARK-Vを使用できます。さらに、機器は長寿命であり、あらゆる環境で信頼性と一貫した性能を提供します。全体として、TEL MARK-Vはエレクトロニクス業界で様々な作業に使用される高度なフォトレジストシステムです。精密な処理機能、自動化された機能、幅広いプロセス機能を提供します。さらに、このユニットは信頼性が高く、寿命が長く、長寿命の性能を提供します。これらの機能を組み合わせることで、集積回路やその他のマイクロエレクトロニクス部品を製造するための理想的なソリューションとなります。
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