中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9265517 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vフォトレジスト装置は、ハイエンド半導体デバイスの加工に特化した高性能システムです。これは、今日の高度な半導体技術の厳しい要件を満たすために優れた性能と柔軟性を提供するターンキーフォトレジストユニットです。TEL Mark V Machineは、ダブルパターニング、3D集積回路、光浸漬リソグラフィなどの高度なプロセスの課題に対応するために設計された革新的なハードウェアを誇っています。このツールには、回転ウェーハホルダー、ウェーハレベリングシステム、ウェーハ回転システム、高度な電子ビームシステム、高度な照明光学、高精度レーザー干渉計制御Z軸調整器、ウェーハ輸送資産、ウェーハステージングカルーセル、高速レシピプログラミングなどが含まれます。TOKYO ELECTRON MARK-V Modelの優れた性能と柔軟性により、再現性のある結果をウェーハに迅速かつ正確に処理できます。柔軟なソフトウェアアーキテクチャにより、カスタマイズ可能なレシピ開発と迅速なウェハターンアラウンドタイムが可能です。この装置には、高度なウェーハトランスポートシステムと高速レシピプログラミングが装備されており、迅速で正確なウェーハ位置決めが可能です。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vユニットには、より高い画像忠実度と再現性を実現するために、リソグラフィープロセスに最適化された高度な照明光学系も含まれています。高度な電子ビームシステムは、スループットと均一性を備えた小型から中型のクリティカル層の高コントラスト画像を提供します。ウェーハレベリングマシンは、処理中に正確なウェーハ配置を保証し、最適な画像品質とモニター結果を得ることができます。TOKYO ELECTRON Mark V Toolの柔軟性により、複雑な技術要件を迅速に処理できます。高精度な性能と高速なウェーハのターンアラウンドタイムを兼ね備え、新技術の統合に優れた柔軟性を提供します。この資産は、ハイエンドの半導体処理ニーズに対応する強力で信頼性の高いソリューションを探しているデバイスメーカーにとって理想的です。