中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9250081 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、高精度で高速なフィルム加工アプリケーションを幅広くサポートするフォトレジスト機器です。このシステムは、半導体デバイス、光ディスク、プリント基板の製造に使用するために特別に設計されています。高速かつ高解像度の3次元フィルム加工ワークフローを低コストで提供します。TEL Mark Vは、産業用グレードのドライバと高解像度イメージングレンズを搭載したスキャニングレーザー露光ユニット（SLES）を搭載しています。X軸とY軸の両方でフォーカスをシフトすることが可能で、大型で複雑なパターンの効率的な画像生成が可能です。また、露出を最適化するためのレーザー出力安定性の精度を向上させる自動補正技術も備えています。これは、最高のopto-mechanical精度のために、1インチあたり0。5から900ラインまで、さまざまなユーザー定義の解像度設定を提供します。TOKYO ELECTRON MARK-Vには、フィルム測定・開発ツール（FMDS）も搭載しています。この資産には複数の処理部門があり、正と負の両方のフォトレジストを同時に測定して開発することができます。滑らかな面、エッチングされた面、粗い面など、さまざまな表面タイプをサポートできます。また、SiO2、 Quartz、シリコンウェーハ、その他の基板など、幅広い基板に対応できます。高精度な膜厚測定と精密アライメントにより、最高精度を実現しています。Mark Vは、フォトレジストプロセスの高度なデータ管理とエラーチェックを提供することができます。この機器は、安全なデータ転送と正確な結果を提供し、信頼性と容易に制御された環境を提供するように設計されています。これは、データセンターやコントロールルームに簡単にアクセスするための仮想ネットワーク通信プロトコルをサポートしています。また、高速で信頼性の高いデータ転送を保証するための高速データ転送システムも備えています。TEL MARK-Vは、今日の要求の厳しい半導体デバイス、光ディスク、プリント基板の生産環境向けに設計されています。フィルム加工において、高精度、高速、信頼性の高いユニットを低コストで提供します。SLES、 FMDS、データ管理機能を組み合わせることで、あらゆる本番環境に最適です。