中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9250080 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、様々な微細加工用途に使用される先進的なフォトレジスト装置です。フォトレジストは、半導体デバイス製造、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）、フラットパネルディスプレイ（FPD）製造など、さまざまなプロセスで使用される光感受性材料です。TEL Mark Vは、フォトレジスト材料の正確なコーティングとパターニングを容易にします。このシステムは、CT17シリーズのコーティングチャンバー、高度なパターニングユニット、および周辺機器の範囲で構成されています。CT17シリーズは、高精度で高速なカバーが特徴で、最大均一性は± 0。2％です。このコーティングチャンバーは、ドライフィルムフォトレジスト、溶液、潤滑剤など、さまざまなフォトレジスト材料に使用できます。また、統合された再循環エアカーテンを備えており、高い均一性と露光時間の延長を実現し、高度なフォトリソグラフィ用途に最適です。TOKYO ELECTRON MARK-Vの高度なパターニングマシンは、2つの個別の照射器を備えており、それぞれ最大露光電力は10倍です。これにより、露光角度の範囲が広がり、アスペクト比が高くなり、最新の微細加工プロセスに不可欠です。パターニングツールには、基板上のフォトレジストの正確な配置とアライメントを確保するためのアセットが内蔵されています。TOKYO ELECTRON Mark Vの周辺機器には、超音波洗剤、ホットプレートスピンプロセッサ、露出トラックコントローラがあります。超音波クリーナーは、エッチングまたは露出前にフォトレジスト被覆基板を洗浄するために使用されます。ホットプレートスピンプロセッサは、フォトレジストの均一なコーティングに不可欠な基板の正確な加熱を可能にします。露出トラックコントローラは、ステッパーまたはサーボ駆動の露出プロセスを提供し、正確な動きと最大スループットを保証します。結論として、TEL MARK-Vは、微細加工用途に信頼性の高い効果的なフォトレジストモデルを提供します。高精度で高速な被覆と正確なパターニング機能により、幅広いフォトリソグラフィープロセスに適しています。Mark Vは、さまざまな周辺機器と組み合わせて、さまざまな微細加工プロセスに費用対効果の高い効率的なソリューションを提供します。