中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9234099 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、TEL Ltd。が開発したフォトレジスト機器です。このシステムは、半導体メーカーに改善されたリソグラフィープロセスを提供するように設計されています。ステッパーとスキャナーの組み合わせ軸を利用して、回路パターンを高精度かつ確実に大面積の基板に転送します。TEL Mark Vには、デジタル信号処理（DSP）環境が統合されており、プロセスの制御を簡素化し、手作業による介入の必要性を低減し、レシピ開発を簡素化します。また、LEAP Semiconductor Inspection Unitを搭載しており、複数の波長の光を高解像度で検査することができます。LEAPマシンはインダイのプロセス特性を測定することもでき、必要に応じて是正措置を講じることができます。さらに、このツールには表面張力モジュールと超薄型トップコートが含まれています。これにより、超滑らかな表面を形成することができ、表面の変化によって引き起こされる可能性のある妨害を排除します。これにより、均一な沈着が保証され、転送プロセスで歪みを引き起こす可能性のある微妙な溝と尾根の作成を防ぎます。また、複数のレーザーカバーによるUV露出を特徴とするマスクレスリソグラフィアセットを搭載しています。これにより、ライン幅のバリエーションを最小限に抑えながら、より迅速かつ正確な露出プロセスが可能になります。また、ライン損失を低減し、オーバーレイ精度を高める高出力レーザーを備えています。TOKYO ELECTRON MARK-Vモデルは、高度な半導体製造要件に対して信頼性の高い高度なリソグラフィープロセスを提供します。直感的なユーザーインターフェイスと高精度で、さまざまなプロセスパラメータを可変的に重ね合わせることで、使いやすさを追求して設計されており、最も汎用性の高いシステムの1つです。