中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226378 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、半導体基板に複雑なパターンをエッチングする高精度フォトレジスト装置です。高精度・高速フィルム開発を可能にする単波長フォトレジストシステムです。TEL Mark Vは、CCOS （Computer Controlled Optical Unit）と気相露光ツール（GEPT）を使用して、エッチングとパターン処理を簡素化します。TOKYO ELECTRON MARK-Vは、優れた解像度と機能の均一性、および高速フィルムの開発を提供します。リアルタイム露出位置補正を可能にする高度なパターンアライメントマシン（PAS）を搭載し、基板上にパターンを高精度に配置することが可能です。さらに、開発ツールは高速かつ正確であり、高スループットのモーター式レーザーベースのレジストアライメントと均一な露出を備えています。マークVは、様々な露出した酸化膜と低減されたブローホールを提供するため、非常に薄いラインとしっかりと形成された機能を使用することにより、設計の柔軟性と回路性能の向上を可能にします。また、優れたパターニング結果を得るための高度なラインエッジ粗度（LER）削減アセットも提供しています。TEL MARK-Vは、ケミカルプリカーソル制御機構とレジストパラメータの微調整により、タイトなピッチと小さなフィーチャーサイズの高性能パターニングを実現します。高度な機能の配列のおかげで、MARK-Vモデルは非常に複雑で複雑なレジストアプリケーションに最適です。半導体ウェーハやメモリチップの製造など、高速で正確なエッチングソリューションを必要とするアプリケーションに最適です。高速フィルム開発、最適なパターンアライメント機能、高度なLER低減装置により、精密パターニングが必要な場合に信頼性が高く効率的に選択できます。