中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226377 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、高度なナノファブリケーションとデバイス製造用に設計されたフォトレジスト装置です。このシステムは、単一のレーザーを使用してさまざまな基板にさまざまなパターンを転送する高度なスキャン構成に基づいています。レーザービームは、レンズ、二色ミラー、その他の要素を介して指示され、100 nm以下の解像度で大面積パターンの書き込みとエッチングを可能にします。洗練されたスキャンユニットと正確に校正されたin-situ補償器により、迅速なパターン転送時間と高精度を実現します。TEL Mark Vフォトレジストマシンは、高度な制御機能を備え、超高解像度パターニングを提供します。画像安定化技術を備えた高速で正確な光学ツールは、高度なマイクロプロセッサコントローラと協調して、ビーム位置のステッピングモータを直接駆動します。この制御機能により、従来のシステムよりも速度と精度が向上します。TOKYO ELECTRON MARK-Vアセットは、優れたフィルム選択性を提供し、サブミクロンの特徴分解能のための高倍率と優れた画質を提供します。光学モデルは、最も困難なエッチング工程でも高分解能を提供します。その可変ビームサイズとパワーレベルは、露出とエッチング時間の厳密な制御を可能にし、複雑な構造を作成することができます。TOKYO ELECTRON Mark Vには、トータル機器制御のための重要な高度な機能も含まれています。オープンアーキテクチャは既存のシステムとの統合をサポートし、すべてのプロセスパラメータを柔軟に制御できます。このシステムには、エッチングパターンをシミュレートするための組み込みソフトウェアツールが含まれています。また、スキャン速度や基板表面の変化に応じて露出を自動調整する機能も備えています。TEL MARK-Vは、密閉されたスキャンチャンバー、保護フィルム、窒素パージシステムなどの統合安全機能を備えています。自動化された使いやすい操作により、低コストの研究開発環境での使用にも適しています。Mark Vは高度な機能を備えており、高解像度ナノスケール機能の製造に必要な柔軟性と精度を提供します。