中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226376 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、半導体デバイスの高精度で均一な機能を実現するフォトレジストシングルウェハ製造装置です。このシステムは、レーザーなどの特殊な光源からウェーハ表面を光のパターンにさらすことによって機能します。この光のパターンは、ウェーハのフォトレジスト層に潜在的な画像を作成し、その後、リソグラフィ中に微細構造を作成するために使用されます。TEL Mark Vユニットは、露出プロセスを正確に制御することにより、ウェーハの歩留まりと加工品質を向上させます。これには、高度な光強度制御とモーションコントロールが含まれており、ユーザーは設計仕様に従って光源の露光強度を正確に調整することができます。東京電機MARK-Vマシンは、高性能な屈折レンズを含む精密光学ツールを搭載しています。これらのレンズは、ウェーハ全体に均一な光の分布を提供し、正確な光の露出制御を可能にし、露出レベルの変化を排除します。これにより、露出レベルがウェーハ全体で均一に保たれ、パフォーマンスのばらつきのない均一な微細構造が得られます。TOKYO ELECTRON Mark Vアセットは、露光プロセス全体にわたって安定した温度を維持し、一貫したフォトレジスト品質を保証する高感度温度制御モデルを備えています。また、ウェーハの自動登録システムを提供しており、リソグラフィ工程中のオフセットやずれを回避し、正確なウェーハ位置決めを可能にします。さらに、Mark Vはさまざまなフォトレジスト測定をサポートし、フォトレジストの品質をテストするための幅広い条件を提供します。これにより、フォトレジストの正確でリアルタイムな監視が可能になり、ユーザーは露出プロセスに必要な調整を行うことができます。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vは、半導体デバイスにおいて高品質の微細構造を一貫して生成するように設計された、高度で信頼性の高いフォトレジストユニットです。この機械の精密光学、温度、および登録システムは、露出プロセスに対して高いレベルの精度と制御をユーザーに提供し、パフォーマンスの変動から解放された反復可能な結果を保証します。