中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226375 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vフォトレジスト装置は、シリコンウェーハ上のフォトレジストの精密かつ均一なエッチングを目的としたリソグラフィーツールです。このシステムは、フォトレジストの成膜とエッチングのプロセスを長年開発し、革新してきた結果です。これは、極めて地下基板上の集積回路の製造のための信頼性と効率的なツールであるように設計されています。TEL Mark Vは、半導体メーカーが基板表面にフォトレジスト層を蒸着・エッチングしてから製造を開始します。フォトリソグラフィと呼ばれるこのプロセスは、シリコンウェーハへの回路パターンを正確かつ正確に伝達するために必要です。TOKYO ELECTRON MARK-Vの最先端技術には、2D解像度制御、安定した均一性、清潔性、高性能な水性および乾燥開発者の選択が搭載されています。すべてのツールは、直径300mmまでの基板に対応し、最大4つのタンクのスケジューリング柔軟性で最適な結果を提供するように設計されています。Mark Vは、標準的なフォトリソグラフィーツールよりも高い清浄度を提供するデュアルチャンバーまたはデュアルキャビネット設計を備えています。クリーンチャンバーには、大気を遮断する分離層が装備されており、ほぼすべての環境汚染を排除しています。MARK-Vはまた、完全な一貫性と精度で複雑な画像パターンを作成するために設計された特別なソフトウェアを利用しています。このユニットは、スピンオンやスプレーコーティングなど、幅広いフォトレジスト材料を処理することができます。TEL MARK-Vは、粒子の汚染を低減し、1 μ m〜2 μ mの範囲で膜厚の均一性を向上させるために最適化されています。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vは、優れたパフォーマンスを提供します。それは99。5％の精密な抵抗のフィルム厚さ制御、高解像度パターニング、速いプロセス時間、清潔度のレベルが可能です。封じ込めおよび低い粒子の放出、また優秀な均等性。さらに、このマシンは柔軟な2色の濡れを提供し、さまざまなオートメーション技術を利用して、設定、プログラム、および操作が簡単になります。TOKYO ELECTRON Mark Vは、メーカーの包括的なサービスプログラムに裏打ちされた、堅牢で信頼性の高いツールです。