中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226374 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、最新の半導体加工アプリケーションに複数の機能を提供するフォトレジスト機器です。これは、処理される各ユニークなサンプルの特別な要件に対応するように設計されており、より効率的で正確な結果を得ることができます。このシステムは、サンプルの特性を変化させるサンプルを光にさらすことによって動作します。これにより、フォトレジストのフィルムやその他の薄い層を、その後のリソグラフィ工程やその他のエッチング工程で正確にパターン化することができます。TEL Mark Vは、アプリケーションに最適化された複数の機能を備えています。多種多様なサンプルの要件に合わせて露出レベルを処理および調整することができます。また、複数のフィルタタイプを備えており、各フィルターの強度を簡単に調整してサンプルの要件を確実に満たすことができます。高解像度カメラも精度向上のために特別に設計されています。サンプルの正確な露光には、UV光源と可視光源を組み合わせて使用しています。このマシンは、各サンプルに最適なレベルにフォーカスを調整するオートフォーカス機能を備えています。自動化された転送オプションにより、転送時間の短縮と生産速度の向上を実現します。このツールの高度な制御は、正確で信頼性の高いパターンを確保するのに役立ちます。標準レベルまたはカスタムレベルのマルチレベル露出機能を備えています。これにより、特定のアプリケーションごとに迅速なプロセス開発と最適化が可能になります。MARK-Vアセットはまた、幅広い基板材料に対する包括的な処理能力と制御を提供します。特定の膜厚や解像度に対応し、高精度なパターニングを実現します。モデルはまた、基板からの分散を自動的に補償します。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vは、効率的かつ正確なリソグラフィープロセスのために設計された強力なフォトレジスト装置です。露出レベル、フィルタタイプ、フォーカシング、転送速度を自動的に処理し、パターン形成を改善します。それはより精密で、信頼できるパターニングのために作る基質材料およびフィルムの厚さに対する制御の優秀なレベルを提供します。