中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226373 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Mark V
ID: 9226373
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1990
Track system, 6" 1990 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vフォトレジスト装置は、高品質の半導体デバイスを製造するために設計された高度で高度なフォトリソグラフィーツールです。このシステムは、高度な光学設計と機械設計を組み合わせ、ウェーハへの高効率な画像転送を実現します。高精度の画像投影ユニット、自動カラーアライメント、フルオートメーション機能を備えています。このマシンは、高度なウェーハ製造プロセスのために最大4umの解像度でリソグラフィ画像を投影することができます。このツールは、高度な照明器を使用して、フォトレジストコーティングされたウェハに高輝度光源を投影します。照明器には、最高の画質と精度を確保するための統合された光学アセットとスキャナーがあります。画像アライメントモデルは、光源の偏差を補正するための特殊なアルゴリズムを使用して設計されており、ウェーハ上の画像の正確な位置決めが可能です。画像アライメント後、装置はステッピングモーターを使用してスキャンステージをウェーハ全体に正確に移動させ、投影と露光時間をより細かく制御します。TEL Mark Vフォトレジストシステムには、独自のカラーアライメント機能もあります。この機能は、フォトレジスト層に投影しながら正確なカラーシェードを取得するのに役立ちます。照明器のRGBカラーパラメータを自動調整し、ウェーハ上の高精度な画像投影を実現します。さらに、このユニットにはフルオートメーション機能も含まれており、ユーザーは完全な操作をプログラムして制御することができます。これにより、生産スループットが向上し、オペレータの疲労が軽減されました。TOKYO ELECTRON MARK-Vフォトレジストマシンは、多種多様なウエハサイズに対応し、大量生産をサポートします。また、過酷な環境でも高い性能を発揮できるよう設計されており、自動加工ラインでの使用に最適です。この最先端のツールは、優れた画像解像度と再現性を提供し、優れたデバイス品質を保証します。TOKYO ELECTRON Mark V Photoresistアセットは、リソグラフィとフォトレジスト加工のための高度で汎用性の高い堅牢なモデルです。高い精度と再現性を確保し、さまざまなウェーハサイズをサポートし、労働投入を最小限に抑え、自動化された処理を可能にします。半導体製造において、マークV装置は高品質な結果を得るための理想的な選択肢です。
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