中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226372 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、100nmまでの解像度で、広いウエハー領域の薄膜層を最適にイメージングするフォトレジスト装置です。クロマチック収差補正レンズを使用して、短時間で非常に高い分解能と高用量の露光を得ることができます。TEL Mark Vシステムは、エキシマレーザーを光源とするパルスレーザーソースを搭載しています。このユニットは、時間分解能0。23ミリ秒の高線量露光を提供することができます。レーザー光源は技術的に安定しており、ウェーハ全体の線量の均一性に優れています。TOKYO ELECTRON MARK-Vマシンには、露光線量と深さの均一性を測定する「Over-the-air」 （OTA）が搭載されています。これにより、フォトレジスト画像の品質を高精度に制御することができます。このツールは、直感的で使いやすいソフトウェアでフォトリソグラフィープロセスを合理化するのに役立ちます。フォトリソグラフィープロセスを成功させるために必要なすべてのパラメータにアクセスできます。また、効率的なレシピとパラメーター制御、エラー防止、および現場でのプロセス制御を可能にします。この資産は優れた安定性とメンテナンス要件が低いため、生産性が向上します。精密登録、高精度なアライメント、およびアライメントのフィードバックを可能にします。また、ステージをサポートし、単一の位置OTAで最大200mmウェーハをロードします。MARK-Vフォトレジストモデルは、プロセスエンジニアリングのための信頼性の高いツールであり、その使用は、基板のより大きな領域にわたって複数のフォトレジスト層の性能を可能にすることにより、製造コストを削減するのに役立ちます。この装置は精密および小さいパターン重大な装置の生産のために適しています。