中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226370 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、優れたフォトレジストと、優れたプロセス制御と性能を提供するトラック機器です。高生産エッチングおよび開発プロセス向けに設計されており、高精度な動作を可能にするさまざまな機能とコンポーネントを備えています。さらに、TEL Mark Vは、転送および開発されたフォトレジストの複製パターンを正確かつ効率的に実行することを保証します。このシステムには、キーエッチングパラメータの自動監視を可能にする統合されたプロセスコントロールユニットが装備されています。これには、モニタリング、オートカリブレーション、および使用されるフォトレジスト材料のエッチング速度の正確な制御が含まれます。さらに、このユニットは、エッチングが最適なレベルになるように、さまざまなポイントに均一な層の厚さをすばやく適用することができます。TOKYO ELECTRON MARK-Vは、処理時間の長い単層・多層フォトレジスト加工が可能です。これにより、時間とコストを大幅に節約でき、プロセス制御と生産の遅延を回避できます。このシステムは、ハイコントラストの再現性と高精度な多層フォトリソグラフィも可能です。さらに、機械はエッジ印刷や重複することなく、非常に小さなパターンを開発することができます。Mark Vにはドライエッチングユニットが付属しているので、濡れた化学薬品を必要とせずにエッチングできます。これによりフォトレジストの処理時間が短縮され、従来のエッチング方法を使用してより効率的になります。このツールには、エッチングされた画像が正確に意図された方法であることを確認するための自動検査アセットと画像処理も含まれています。さらに、フォトレジストをすばやく洗浄して回収し、エッチング中のシフトを防ぐために材料を追跡することができます。結論として、TEL MARK-Vは、精密プロセス制御と再現可能な精度を提供する非常に有利なフォトレジストおよびトラックモデルです。精密なエッチングと開発プロセスを正確かつ効率的に実行する能力は、高生産用途に最適です。また、自動検査、画像処理、ドライエッチング機能などの高度な機能を備え、リソグラフィ処理をさらに合理化します。