中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226368 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、半導体および関連製品の精密エッチングおよびリソグラフィ製造用に設計されたフォトレジスト装置です。このシステムは、光の露出、化学エッチング、および露出後のベーキングの組み合わせを利用して、忠実度の高い正確なマスクパターンを生成します。このユニットは、ウエハ基板に適用されたImmersion Type Photoresist （ITP）の14層マガジンを使用しています。フォトレジストは、透明な有機材料または無機材料であり、光源にさらされて化学的に活性な層を形成することができます。アクティブなレイヤーが露出されると、露出された領域は開発者に可溶になり、選択的に除去することができます。このエッチングプロセスの結果は、希望するパターンに変換するフォトレジストのパターンです。TEL Mark Vには、高解像度の光学機器と高解像度の作動機構を組み合わせた異常に大きな露出チャンバーがあり、ITPの正確な露出を提供します。これらの機能と高精度な倍率と16ビットのデジタル信号処理解像度による測定は、0。68ミクロンの解像度を持つ比類のないリソグラフィーツールを提供します。TOKYO ELECTRON MARK-Vには、高品質で忠実度の高いパターンを保証するために、露出後のベーキング機能とプロセスがいくつかあります。これには、ポストベークとマルチステップポストベークが含まれ、最大限の制御のために環境中の化学物質と空気清浄度の放出を制御する追加の機能を備えています。露光チャンバのデータから予想されるチップサイズと波長を予測するMARK-V用の高分解能測定モジュールも用意されています。このアセットは、測定装置と統合して、完成したチップサイズとデータの高精度な測定を得ることができます。Mark Vのフォトレジストモデルは、ユーザーに最適なパターン品質を提供し、最大の効率とコスト削減を提供します。TOKYO ELECTRON Mark Vの独創的なデザイン、精密エッチング機能、高忠実度パターンにより、高度なリソグラフィ用途に最適です。