中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9226212 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V Photoresist Equipmentは、リソグラフィープロセスに使用できる半自動システムです。フォトレジストを正確に分配し、正確に露出するように設計されており、より大規模なマイクロエレクトロニクスデバイスの製造のためのウェーハ上の高解像度パターンを生成します。このユニットは、メインコンソール、検出器ヘッドアセンブリ、露出ユニット、およびウェーハアライメントマシン（WAS）のいくつかの主要コンポーネントで構成されています。メインコンソールはツールの中心部分であり、アセットを制御するインターフェイスと、操作のステータスと結果を表示するインターフェイスの両方を提供します。メインコンソールには、リソグラフィープロセス中にフォトレジストやその他の液体を機器に正確に分配するために使用される流体供給モデルもあります。ディテクターヘッドアセンブリは、露出ユニットからウェーハを移動させるメカニズムであり、ウェーハが露出ユニットの光学系と正しく一致していることを確認します。露光ユニットはプログラマブルレーザーを使用してウェーハにパターンを投影する役割を担いますが、WASは検出器がフォトレジスト、レーザー、ウェーハ自体のずれを検出し、補正を適用する仕組みです。このシステムにはフィードバックユニットも採用されており、WASとともに、露出と分配の両方が最高の精度で行われることを保証します。フィードバックマシンは、フォトレジスト配送ノズル、レーザー、ウェーハの近くに配置された複数の検出器で構成されています。これらの検出器はフォトレジストの抵抗を測定し、実際の露光時間とレーザー電流を検出します。このフィードバックは、リソグラフィープロセスの正確性と品質を保証するのに役立ちます。また、TEL Mark Vは、緊急停止ツール、インターロック安全システム、カメラによるプレゼンス検出アセットなどの安全機能を利用して、露出プロセスが開始される前にウエハが適切な位置にあることを確認します。TOKYO ELECTRON MARK-Vフォトレジストモデルは、ウェーハ上の正確なパターンを高精度に生成するための強力なツールです。正確なディスペンシング装置、プログラマブルレーザー、フィードバックシステム、および安全機能を備えたこのユニットは、より大規模なマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に信頼性の高い一貫した結果を提供することができます。