中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9225994 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、半導体集積回路などのマイクロエレクトロニクス機器の製造に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは精密なラミネーションの精密および高精度のコーティングおよび露出制御を提供するように設計されています。フォトレジストユニットは、マイクロプロセッサ制御機、ビジョンツール、プログラム可能な紫外線（UV）および光露光源の配列で構成されています。マイクロプロセッサは、ラミネーションおよび均一なコーティングプロセス、ビジョンアセットおよび露出設定を制御し、ユーザーに定期的およびアドホックプロセス調整の両方を実行する機能を提供します。このモデルは、製造プロセスに合わせてUVおよび光学露光源の幅広いオプションを備えています。これらには、532nmおよび1064nmレーザー露光源、Excimer、 ArFおよびKrF互換露光源、およびプラットフォーム対応の複数露光源が含まれます。TEL Mark Vフォトレジストシステムの視覚装置は、フィルム全体の均一性と均質性を正確に制御します。また、超微細ステッパーを採用し、高い基板精度とレイヤー精度を実現しています。TOKYO ELECTRON MARK-Vフォトレジストマシンは、シリコン、ガラス、金属などの様々な基板に対応することができ、最小サイズは5umです。また、エッチング、パターン印刷、レイヤートランスファーなど、幅広い生産プロセスを容易にするように設計されています。このツールは、生産をより効率的にするために設計された多くの機能を提供することができます。これらには、連続生産、高スループット、パターン最適化、基板マッチング機能のためのインライン処理が含まれます。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vフォトレジストアセットには、トラックウォッチ、オートキャリブレーション、ビジュアライゼーション、モニタリングモデルなどのプロセス制御機能が搭載されています。この機器は、アラーム設定、データ記録、統計分析、および複数の通信プロトコルのサポートも提供します。全体的にMARK-Vフォトレジストシステムは、信頼性、再現性、高精度のコーティング、ラミネーション、露出性能を提供できる高度なフォトレジストユニットです。このマシンの統合ビジョンツールは、幅広い露光源とインテリジェントなプロセス制御機能により、正確で信頼性の高い結果を必要とする生産環境に適しています。