中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9222912 を販売中
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販売された
ID: 9222912
ヴィンテージ: 1999
Systems
Utility:
Drive pressure:
Unit drive pressure: 3.5 kgf / cm² (343.2 kpa)
Ejector drive pressure: 3.5 kgf / cm² (343.2 kpa)
Resist pump drive pressure: 3.5 kgf / cm² (343.2 kpa)
Vacuum pressure:
Spinner: -550 mm Hg (-73.3 kpa)
WEE: -400 mm Hg (-53.3 kpa)
C/S, I/F(V,Vz): -400 mm Hg (-53.3 kpa)
N2 Pressure:
N2 Primary pressure: 3.5 kgf / cm² (343.2 kpa)
Developer solution canister tank pressure: 1.0 kgf/ cm² (98 kpa)
HMDS Supply tank pressure: 0.5 kgf / cm² (49 kpa)
Thinner supply tank pressure: 0.5 kgf / cm² (49 kpa)
Resist bottle pressure: 0.3 kgf / cm² (29.4 kpa)
Adhesion unit bubbler tank pressure: 0.3 kgf / cm² (29.4 kpa)
E2 Nozzle blow pressure: 0.3 kgf / cm² (29.4 kpa)
DI Water and developer solution:
Primary pressure: 1.0 kgf / cm² (98 kpa)
Secondary pressure: 1.0 kgf / cm² (98 kpa)
Chilly water:
Primary pressure: 1.5 kgf / cm² (147.1 kpa)
Exhaust pressure:
Coater cup: 5 mm H2O (0.05 Pa)
Developer cup: 10 mm H2O (0.1 Pa)
Scrubber cup: 10 mm H2O (0.1 Pa)
WEE Lamp house: 11∼13 mm H2O (0.11∼0.13Pa)
Temperature: 20~27° C Variance to be less than 0.5° C
Humidity: 28~55% RH Variance to be less than 3% RH
Power supply: 100/200 V, 50/60 Hz, Single phase, ±10%
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vはフォトレジスト機器です。基板（通常はシリコンウェーハ）にパターンをエッチングするために使用されるデバイスであり、半導体製造に使用されます。光に敏感なフィルム（フォトレジスト）を露出することで機能します。その後、露出した領域が開発され、化学的に処理されます。その結果、基板にエッチングされたパターンが得られます。TEL Mark Vは精密を念頭に置いて構築されています。高度な4軸翻訳ステージを備えており、基板の正確な位置制御が可能です。4X〜10X倍率調整可能な高解像度光学システムを搭載しており、正確なパターン分解能とアライメントが可能です。この光学ユニットには、エネルギー効率の高いLED源、NIRや紫外線源など、さまざまな照明源を装備することができます。また「、オートスキャン」機能を搭載し、露出時間を短縮し、ずれによるパターニングエラーの可能性を排除します。TOKYO ELECTRON MARK-Vは使いやすく信頼性の高い機械です。直感的なユーザーインターフェイスと、初心者でも経験豊富なユーザーでも使いやすいさまざまな機能を備えています。様々なフォトレジスト素材を搭載し、幅広いパターンを可能にします。また「、Smart Nearest Neighbor」オプションも備えており、同じフォトレジスト層の複数の露出を可能にし、それぞれの露出を特定の基板に最適化します。この機能により、パターンの解像度が向上し、歩留まりが向上します。MARK-Vにはタッチパネルモニターが内蔵されており、ツールの操作に関する情報をユーザーに提供します。これには、プロセスパラメータに関する情報だけでなく、警告やアラームも含まれます。これにより、ユーザーはプロセスをリアルタイムで監視し、それに応じてパラメータを調整することができます。TOKYO ELECTRON Mark Vは、高度で使いやすいフォトレジスト素材で、高いスループットで正確なパターニングを実現します。半導体製造での使用に最適であり、経験豊富なユーザーと初心者の両方で使用できる信頼性とユーザーフレンドリーです。
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