中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9130725 を販売中

ID: 9130725
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1993
System, 6" Left to Right INDEXER 4 Cassette Stage (Uni-Cassette) CONFIGURATION Main Body1 / Main Body2 / Chemical Cabinet MAIN CONTROLLER NEC FC-9801X C/S ROBOT TYPE Vacuum Arm / Ceramic Pincette MAIN ROBOT TYPE 2 Pincette Arm INDEXER Laser Diode Mapping Sensor SCR JET Nozzle / Rinse Nozzle COAT 4 Resist Nozzle / Bellows Pump 1 Gallon Resist Bottle / Thinner Local Supply (Canister) EBR Nozzle / Back Rinse Nozzle Local Drain (1ST SUS 10L Tank / Drain Pump) DEV Nozzle Tyoe : Spray Nozzle Rinse Nozzle / Back Rinse Nozzle Facility Supply / Drain WEE TEL Standard CTV-410 AD TEL Standard Local Supply (Canister) 1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、TEL (TOKYO ELECTRON LIMITED)が半導体産業で使用する高度なフォトレジスト装置です。フォトレジストシステムには独自の技術が組み込まれており、TEL Mark Vユニットを構成する複数のコアコンポーネントで構成されています。TOKYO ELECTRON MARK-Vマシンのコアコンポーネントは、フォトレジストユニット(PRU)です。フォトレジスト材料を半導体基板に正確に適用するために、高度な光学パターンを利用した最先端の高精度ツールです。フォトレジストユニットは、そのピッチ、サイズ、形状を正確に調整し、さまざまな洗練されたコーティングを適用できる特許取得済みの技術を使用しています。また、均一で安定したコーティングを維持するために、さまざまな温度、圧力、環境条件で作業することができます。この能力は、フォトレジスト材料のすべてのタイプの高品質の結果を可能にします。MARK-Vアセットには、マスクやウェーハを搬送するための精密高速ロボット、基板を取り扱うための高速フィルムフィーダ、基板を個別に整列・切断するためのポストスプリットモデルなど、さまざまなコンポーネントがあります。また、バーコードやパターンマークを正確に読み取るレーザースキャナーや、フィルム登録やマスキングの精度を確保するための光学検査システムも搭載しています。これらの部品により、Mark Vユニットは、半導体製品の専門的な生産に必要な高精度、再現性、および精度を提供することができます。さらに、この機械は、多くの異なる基板サイズにわたって汚染を最小限に抑え、均一なコーティング品質で歩留まりを向上させることができます。TEL/TOKYO ELECTRONフォトレジストツールは、製造工程で発生する有害化学廃棄物の量を削減することで、環境性能を向上させることができます。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vアセットは、高効率光学モデルにより消費電力を削減し、エネルギー効率を向上させます。また、基板スループットの向上、拒絶反応の最小化、欠陥ダメージコストの低減により、半導体生産のトータルコストの削減に貢献します。TOKYO ELECTRON MARK Vフォトレジストシステムは、高品質で一貫したフォトレジストの結果を生み出そうとする半導体専門家にとって理想的なソリューションです。洗練された精密部品と効率的なソリューションを組み合わせることで、半導体の生産を最適化するための優れた投資となります。
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