中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9111401 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、半導体・先端包装業界の高度フォトリソグラフィープロセス向けに設計されたフォトレジスト機器です。真空を利用した真空乾燥システムにより、チャンバーから空気や水分を排出し、フォトリソグラフィの精度を高めます。高性能レーザープロジェクションユニットを搭載し、高解像度の基板にレーザパターンを正確に投影することができます。小型・大型の視野操作に対応し、様々な用途に対応した幅広いレーザー波長を実現しています。TEL Mark Vには、高精度なレーザビームアライメントマシンが搭載されており、高品質な生産のためのレーザーパターンを正確に制御することができます。また、表面の滑らかさと精度を向上させるための高度な振動制御システムと統合されています。このツールはまた、比較的平坦な表面と反復可能なパターンを達成することができる自動レベリングアセットを備えています。これにより、長期間にわたってプロセスの一貫性と歩留まり率を向上させることができます。また、レーザーパルスの周波数や投影方向を調整して最適化された処理を行うことができる自動レーザー制御装置と組み合わされています。フォトリソグラフィープロセスの機能を向上させる層ごとの補正とキャリブレーションのための多軸モーターシステムが含まれています。ユーザーとユニット間の物理的接触量を削減するために、このマシンは、電子回路基板と同じ方法でコマンドとプリセット値を実行できるプログラマブルロジックボードと統合されています。また、設定の正確性を確認し、TOKYO ELECTRON MARK-Vの全体的な性能を事前にテストできる高度なシミュレーションプログラムと統合されています。この機能により、実際のプロセスが開始される前にプロセスパラメータを特定して調整することができます。最後に、この資産には、プロセスのすべてのステップを記録するトレーサビリティ管理モデルもあり、製造プロセス全体にわたってデータベースの監査証跡を提供します。