中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9111393 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark V Photoresist Equipmentは、従来のマスク製造やリソグラフィープロセスよりも優れたパターニング機能を提供するプロセス統合型マスクレスリソグラフィーシステムです。ユニットはさまざまなコンポーネントで構成されており、それぞれが正確で効率的なパターニング能力を提供するように設計されています。機械の中心には、基板のフォトレジスト層に画像を投影するために使用される光光スキャンツールがあります。このアセットは、高解像度レーザースキャナ、デュアルスキャン光学モデル、微調整光モジュールで構成されています。この装置は、高画質で基板上の優れたフォトリソグラフィを実現することができます。TEL Mark Vは、ユーザーフレンドリーなWindows 10ベースのシステムコントローラを搭載しており、ユニットコンポーネントを正確かつ再現可能に制御できます。コントローラには、グラフィカルなフォトマスクエディタと、フォトリソグラフィープロセスのセットアップと自動化を支援するさまざまなアプリケーションソフトウェアが装備されています。フォトレジストマシンの最初には、アライメントツールを使用して基板を正確に登録し、それらがイメージングに正しく向いていることを確認します。このツールには、露光プロセス中に基板が静止したままになるようにウェーハクランプ機構も装備されています。東京エレクトロンマーク-Vは、画像を最適に鮮明にするために、非接触レーザー測定アセットを採用し、光の露光パターンの強度と均一性を正確に制御します。また、サンプル監視装置を搭載し、基板配置や露出のリアルタイム解析が可能です。イメージングの観点から、このフォトレジストシステムは、0。2 umの分解能と0。2 umまでの線幅のパターンを生成することができ、半導体、MEMS、光学センサーなどの幅広い用途に適しています。効率的で便利な操作を可能にするために、Mark Vには直感的なユーザーインターフェイスがあり、ユーザーはユニットコンポーネントの構成、監視、トラブルシューティングを行うことができます。このマシンはまた、信頼性の高いプロセス制御を提供し、ダウンタイムを最小限に抑えるために、さまざまなエラー検出機能を備えています。TOKYO ELECTRON Mark V Photoresist Toolは、ユーザーフレンドリーなソフトウェアと直感的なユーザーインターフェースにより、優れたイメージング機能と効率的な操作性を提供する、フォトリソグラフィのための高度で強力な選択肢です。