中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9054827 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vフォトレジスト装置は、リソグラフィーリフローやフォトレジスト加工に特化した高度な自動コーティング・開発システムです。フォトレジストは、表面に微細なパターンを作成するために、リソグラフィで使用される光に敏感な材料です。単位は高精度のための高められた正確さおよび完全な温度調整の高度の理性的なプロセス制御（IPC）が装備されています。この機械には環境チャンバーが装備されており、最適な蒸着で基板を効率的かつ正確にコーティングする特許取得済みの自己調整フロー技術を使用しています。これにより、幅広い温度範囲で均一なコーティングと一貫したパフォーマンスが保証されます。このツールには、精密なレシピ制御位置と均一なウェーハを提供する高度なイメージング技術も装備されています。さらに、大容量のコーティングデュアルポジショニング機構により基板加工が容易になり、サーボ制御アームによりコーティングの均一性が向上します。TEL Mark Vアセットは、フォトレジストプロセス全体を自動化し、さまざまな用途に合わせて調整できる動的加熱モデルやウェーバー熱制御などの機能を搭載しています。高速ポスト蒸着装置により生産スループットが向上し、基板への応力が少なく、より多くの仕上がりが可能です。さらに、高度なレーザースキャニングユニットを備えており、リソグラフィーのパターンを正確にキャプチャし、パターンに応じて可動要素を制御することができます。東京電機MARK-Vフォトレジストマシンは、高性能クリーニングサイクルを持ち、さまざまな基板に安全で効果的なフォトレジスト層を提供します。その組み込みのプロセス制御機能は、直接操作を監視し、常に最高品質の結果を確保するためにパラメータを調整し、最適化します。これにより、より一貫したパフォーマンス、より良い歩留まり、そして最終的には全体的な効率が向上します。MARK-Vツールは、最小限の基板損失でプロセススループットを最大化するように設計されており、既存のフォトリソグラフィ装置と統合して最高レベルの精度を提供できます。