中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9033679 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vは、半導体製造の最先端フォトレジスト機器です。これは、化学的増幅と非化学的増幅抵抗製剤の両方を含む、フォトレジスト材料の広い範囲を扱うように設計されています。TEL Mark Vシステムは、優れた解像度、優れたラインエッジ/幅の性能、および優れたエッジ配置精度を提供するために最適化されています。また、基板あたりのスループットが向上するように設計されているため、コストを削減できます。TOKYO ELECTRON MARK-Vユニットは、TEL Helios FT-IR分光技術を使用して最高性能を実現し、幅広い光学アセンブリや基板に対応します。低温制御により、エッチング性能に優れ、基板全体の均一性が向上します。また、マイクロオプティカルトレーサビリティツールを内蔵し、イメージングとラインエッジの粗さを最適化し、線量、線量の均一性、エッチング率をリアルタイムで最適化します。この資産には、多様な高度な機能が搭載されているため、高収量の生産に最適です。基板の積み下ろし、パターニング、アライメントのための高速多重化モデルを備えています。また、フィルムの厚さや屈折率など、写真以外のパラメータを制御するためのモジュラーソフトウェアパッケージも備えています。モジュール性のため、この機器は追加機能を追加することで、さらにスループットとコスト削減を実現します。TEL MARK-Vシステムは、より高いフィールド精度と機械のダウンタイムの削減を可能にする自動書き込みフィールド整列ユニットを提供しています。統合されたe-Beam/Stepperプロセス制御により、Stepperとe-Beamツール間の優れた接続性と最適化が可能になります。機械にまた速く、より反復可能なエッチングのための統合されたeビームベースのオーバーレイそして水様のきれいな用具があります。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vは、最高性能のフォトレジストプロセスをサポートするよう設計されています。堅牢な技術、幅広い機能、優れた接続性により、半導体製造に最適です。