中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #9033678 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vは、科学研究や製造に最適な高度なフォトレジスト機器です。最先端のオートメーション、ロボティクス、およびビジョンシステム機能を備えたフル機能の自己完結型プラットフォームであり、ハイテク環境での高速、正確、信頼性の高い生産を可能にします。このユニットは、フォトレジストコーティング、開発、露出プロセスを精密に制御することができ、物理ウェハと回路の間に正確なインターフェース層を提供します。さらに、自動化されたシステムはヒューマンエラーのリスクを低減し、幅広いプロセス制御パラメータは、フォトレジストサイクル時間と生産歩留まりを迅速に最適化するための理想的なプラットフォームを提供します。TEL Mark Vは、効率的で高度に統合されたオートメーションプラットフォームを利用し、生産タスクの合理的な管理と組織化を可能にします。モジュラーロボティクスマシンには、アームマウント型スキャナ、フレキシブルポジショナ、および正確な距離センサーが搭載されているため、手動で介入することなくシリコンウェーハの迅速な位置変更とリリースが可能です。さらに、統合ビジョンツールにより、正確な検査とオプトエレクトロニクスデバイスのキャリブレーションを、堅牢で費用対効果の高い方法で行うことができます。TOKYO ELECTRON MARK-Vアセットは、コート、開発、露出レシピの包括的なセットも提供しています。利用可能なすべてのレシピは、他の機能との最適な相乗効果のためにプログラムされており、より速く、より信頼性の高いフォトレジスト処理を可能にします。さらに、製品固有の要件に基づいてレシピを自律的に選択することができ、基板の処理に関係なく最適な結果を保証します。TEL MARK-Vフォトレジスト機器は、さまざまなフォトレジスト関連アプリケーションに最適な高度な機能を提供します。柔軟なオートメーション、堅牢なビジョンシステム、包括的なレシピにより、費用対効果の高い高性能フォトレジスト処理に優れたソリューションを提供します。
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