中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293821345 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、フォトリソグラフィにおける正確なパターニングを可能にするフォトレジスト機器です。フォトリソグラフィーは、半導体、光学薄膜、その他のデバイスとして使用される材料の薄膜をパターン化するために使用されるため、多くの産業にとって重要なツールです。TEL Mark Vは、最高品質のパターニングを保証するために、さまざまな機能を備えた先進的なシステムです。東京電子マーク-Vは、深紫外線（DUV）照明源を使用してフィルムを露出させ、望ましいパターンを作成します。この光源は248ナノメートルの波長を持ち、フォトマスクを介して送信されます。フォトマスクは光の一部を遮断し、他のものを下のウェーハに通すことができます。マスクは不透明な領域または窓のパターンで構成され、ウェーハ上にパターンを作成し、フォトレジストを選択的にコーティングします。マスクを通過する光のタイトな制御は、0。45マイクロメートルの解像度でパターンになります。フォトマスク自体は真空チャックを介してユニットに保持されます。これにより、デバイスの取り扱いとロード時にフォトマスクの表面に触れることなくマスクを固定することができます。マスクは、物理的および光学的アライメントの両方を使用して、X軸とY軸に沿って高精度のアライメントを受けます。これにより、マスクが露出前およびその後の露出ごとに適切に揃っていることが保証されます。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vにはオートフォーカス制御も搭載。光学センサは、デバイスから下流サーフェス、フォトレジストフィルムから下流サーフェスまでの距離をそれぞれ測定します。フォーカスコントロールは、フォトマスクと基板の両方の高さを調整して、最高品質のパターニングを保証します。最後に、Mark Vには革新的な基板冷却機があり、ウェーハが均一な温度で動作し、時間の経過とともにフォトレジストフィルムの変化を防ぎます。これにより、最も要求の厳しいアプリケーションでも、最高品質のパターニングが保証されます。これらの機能を組み合わせたTEL MARK-Vは、市場で最も先進的なフォトレジストシステムの1つです。高度な照明ソース、高精度アライメント、自動焦点制御、基板冷却ツールは、利用可能な最高の解像度のパターンを提供します。このアセットは、高精度、一貫した結果、信頼性を必要とするアプリケーションに最適です。