中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293821344 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vフォトレジスト装置は、半導体製造におけるフォトリソグラフィ工程用に設計されたウェハ加工ツールです。TEL Mark Vは、高度な光学系、安定した正確な露光制御、独自の線形照明設計を利用した高度な液浸リソグラフィーシステムです。フォトレジストを素早く正確に露出させることができ、半導体業界で最高レベルのデバイス・プロセス制御を実現します。TOKYO ELECTRON MARK-Vフォトレジストマシンは、フォトレジスト層に希望のパターンを生成する3つの光学部品で構成されています。これらのコンポーネントには、照明器、レチクル、および非軸イメージプレーンアライメントツールが含まれます。照明器は、ウェーハ全体に均等に光を拡散させ、均一な露出を確保するライン状の装置です。レチクルにはパターン化されたオーバーレイがあり、フォトレジスト層のデバイスレイアウトを正確に記録するために使用されます。最後に、アライナーは照明とレチクルを組み合わせて、光とパターン化されたオーバーレイをフォトレジスト層に正確に配置します。TEL MARK-Vフォトレジストアセットには、オンザフライで露出を調整し、非常に均一で正確な線量を確保する自動露出制御モデルも含まれています。また、高度なプリスキャナを使用して、パターンがウェーハに転送されたときの位置ずれを検出し、ポストスキャナを使用して目的のデバイスジオメトリが最大限の精度で印刷されていることを確認します。TOKYO ELECTRON Mark Vシステムは柔軟性が高く、用量、フォーカス、スナッピングパラメータを簡単に変更して、さまざまなサイクリング要件を満たすことができます。結論として、MARK-Vフォトレジストユニットは、半導体デバイス処理用に設計された高度で高度な機械です。高均一かつ正確なフォトレジスト露光と、プロセス改善に必要な精度と柔軟性を確保します。全体として、Mark Vツールは、優れたデバイス歩留まりとプロセス制御を提供する半導体製造のための信頼できるツールです。