中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293793330 を販売中
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ID: 293793330
ヴィンテージ: 1993
(1) Coater / (2) Developer system.
EMO Function
DEV Spin chuck
Coat spin chuck
IND Unit
ARM Carrier station
BU Unit
(3) Pins col
I/F Unit
Cooling plate temperature: 23 ± 0.2°C
Refrigerator
Utility check:
N2: 4.5 kgf/cm²
VAC: -73.3 kPa
CDA: 3.5 kgf/cm²
DIW: 1.0 kgf/cm²
Chill water: 3.0 kgf/cm²
AD Inner chamber pressure: ≤ 347 kPa
Power supply: 100/200 V ± 10%
1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vは、高解像度半導体フォトマスク製造に使用される先進的なフォトレジスト装置です。フォトレジストシステムは、集積回路（IC）製造に使用するためのパターンをウェーハに転送するために使用されます。TEL Mark Vは、市場で最も困難なデバイスの精度を可能にする信頼性の高い高性能システムです。TOKYO ELECTRON MARK-Vは、1。2nmの高ビーム品質で構築され、ディスクパターン領域全体のプロセスの精度を確保するための超高可読性（SHR）モニターユニットを備えています。これは、優れた解像度を維持するためにカスタマイズ可能な15 インチLCDタッチスクリーンディスプレイを誇っています。機械制御は、包括的なソフトウェアと自動化されたプロセスを通じて、層の厚さと等方性エッチング率に抵抗します。これらには、安全性と生産性を促進するプラズマソース連動ツールとインラインモニタリングアセットが含まれます。TEL MARK-Vは、プラズマシミュレーションによるエッチング速度制御により、Smart PVT （Photo Lithography Temperature）による酸性エッチング速度の不均一性も排除します。ウェーハ温度を温度や湿度の変化に合わせ、エッチング時のプラズマエネルギーレベルを制御します。Smart PVTは、従来のシステムよりもパターンのエッジの粗さが少なく、より高いパターン忠実度を実現することで有名です。時間とコストの節約の分野では、TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vには、スーパースピードステップアンドリピート（SSSR）スキャナと統合レジストコーター開発者が装備されています。これらの自動化されたメカニズムは、それぞれフィルム加工やマスクアライメントなどのジョブの時間とコストを削減します。さらに、信頼性の高いフォトマスク除去剤が付属しており、手作業を最小限に抑え、頻繁なハードウェア保守のストレスを軽減します。結論として、MARK-VはハイエンドIC製造のための洗練されたフォトレジストシステムです。このユニットは、ハイビーム品質、Smart PVT、 SSSR、統合されたResist Coater-Developer機能など、精度を保証する機能を誇っています。これらの機能により、ユーザーはより大きな機械精度とコスト削減の恩恵を受けることができます。
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