中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293759031 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vは、半導体デバイスの正確なパターニング用に設計された高度なフォトレジスト装置です。基板上に様々な形状・サイズの高解像度パターンを生成することが可能です。高度な光学システム、高精度自動段階、精密なロボティクスを使用して、正確なアライメントと登録を実現する非常に先進的な技術です。このユニットは高精度で、位置再現性は0。5ミクロン、ラッピング精度は0。5ミクロン、チルト精度は0。5ミクロンです。これにより、複数世代でも正確なパターンや形状を実現できます。さらに、機械は直径600mmまでの基質を扱うことができます。このツールは、完全に自動化された高精度の光学測定アセットを備えており、正確な測定を迅速かつ正確に行うことができます。このモデルでは、以前に測定した値に基づいて画像を自動補正および最適化することもできます。この装置は、マスキング、露出、除去など、幅広いタスクを実行するようにプログラムされています。マスキングは、基板を覆うフォトレジスト材料を使用します。これは、基板に光が届かないように特別に設計されています。露出は、マスクが化学的に敏感な材料を活性化するために特定の量の光にさらされるプロセスであり、除去は所望のパターンを得るためにマスクを除去するプロセスです。TEL Mark Vには、パターンフィーチャーのレーザトリミング用のレーザトリミングシステムが搭載されています。これにより、基板の高精度なトリミングとエッチングを可能にし、パターンから不要な特徴を取り除き、パターンの精度を高めます。これらの機能はすべて、東京エレクトロンマーク-Vを非常に高度なフォトレジストユニットとしています。高精度なパターニング機能と再現性を確保し、さまざまな産業用途に最適です。精密な位置決めと再現性を備えた基板上に様々な形状・サイズの高解像度パターンを生成することができ、半導体などの精密機器の製造に適しています。