中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293759024 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、フォトリソグラフィ工程においてウェーハ上のパターンを生成する半導体製造事業で使用されるフォトレジスト機器です。TEL Mark Vフォトレジストシステムは、TELから入手可能な製品群の一部であり、主にマスクレスリソグラフィおよび開発作業に使用されます。TOKYO ELECTRON MARK-Vユニットには、フォトレジストをより高速かつ正確に露出させ、ウェーハ上に高精度なパターンを作成するために設計されたさまざまなコンポーネントと機能が装備されています。高解像度、高精度の光学イメージングツール、イメージング中にウェーハを保持するための真空ステージ、コンパクトで使いやすいコントローラユニットを備えています。マークVの光学イメージングセクションは、非常に安定した低ノイズ性能のために設計されており、レジストに一貫して正確にパターンを投影することができます。プロジェクションオプティクスは、30nmの解像度を達成できる高度なレーザースキャニング資産を採用しています。ウェーハ真空ステージは、パターンが適切に整列し、完全に中央に配置されていることを確認するために、イメージング中にウェーハを非常に正確に制御することができます。TOKYO ELECTRON Mark Vモデルのコントローラーユニットは、露光パラメータなどの操作パラメータを最小限に抑え、使いやすく設計されています。このコントローラには、露出シミュレーション、パターン編集、アライメント校正など、より包括的な制御を可能にするいくつかの機能も含まれています。これにより、イメージングプロセスを微調整し、完全な精度を確保することができます。MARK-Vフォトレジスト装置は、特にフォトリソグラフィ事業において最高の精度を要求される半導体メーカーにとって、信頼性の高い汎用性の高いツールです。高精度の光学イメージング機能と高度な制御機能により、高品質で高解像度のパターンを迅速かつ一貫して生成できます。