中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293758869 を販売中

ID: 293758869
ヴィンテージ: 1996
Coater / Developer system 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark V Photoresist Equipmentは、高精度ウエハ加工用に設計された高性能なフォトレジスト開発システムです。TEL Mark Vは、波長フィルタを搭載した光源を利用して、シリコン、ヒ素ガリウム、その他の半導体基板材料のフォトレジスト画像を開発しています。このフィルタは、強度レベルと波長を調整するのに役立ち、正確で一貫した結果を得ることができます。このフィルターは、さまざまな電力レベルの紫外線、可視光、近赤外光源などの光源を受け入れるように設計されています。また、このフォトレジストユニットは「、フローティング」フォーカス機構を備えており、大きなフォーカス範囲とより高い位置決め精度を可能にします。この機能により、最大1ミクロンレベルの焦点精度を実現し、均一で安定したイメージングを実現します。TOKYO ELECTRON MARK-Vは、ウェーハサイズと位置決めを制御する精密ステージマシンです。このツールを使用すると、ナノメートル範囲のステップ分解能でステージを移動できます。また、WaferMapper機能を内蔵しており、プロセス条件やパラメータを正確に監視することができます。安全面では、TOKYO ELECTRON Mark Vは保護機能が充実しています。これらの機能は、ULやCEなどの世界的な安全基準に沿っています。排気フィルターアセットも装備しており、排気ガスを制御することでユーザーの安全性を向上させています。TEL MARK-Vはユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、スムーズで簡単な操作が可能です。このインターフェイスは、プロセス設定の視覚的なマップを表示し、プロセス条件をよりよく理解することができます。また、TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vでは、故障管理やエラー検出も可能です。それは速い情報共有および他のシステムとの容易な関係を提供するネットワークインターフェイスが装備されています。全体として、Mark V Photoresist Modelは、軽いフィルター、高精度のステージ機器、ユーザーフレンドリーなインターフェースなどの高度な機能により、ハイエンドで精密なウェーハ処理アプリケーションに理想的なソリューションを提供します。その安全機能は、ユーザーの安全性を高めるのに役立ち、障害管理とエラー検出は、潜在的な問題を迅速かつ正確に検出するのに役立ちます。これらの機能はすべて、MARK-Vをハイエンドで高精度なウェーハ加工をお探しのお客様に最適です。
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