中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293758569 を販売中
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TEL/TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vフォトレジスト装置は、フォトリソグラフィ加工用に設計されたハードウェア、ソフトウェア、化学の特別な組み合わせです。高精度の光学リソグラフィ用に設計されており、その部品を洗浄し、集積回路製造において最高の分解能を提供するために、ナトリウムクロメートウェットエッチプロセスを使用しています。TEL Mark Vは、低解像度での低ノイズ性能に最適なリニア構造のハイダイナミックレンジイメージセンサアレイなど、さまざまな光学ソリューションを採用しています。東京電子MARK-Vは、近距離画像処理のための広い焦点深度を提供し、基板の加工速度を向上させ、露光時間の延長に伴う収差を低減します。このシステムは、広いスペクトル範囲を持つ高出力レーザーを使用して、レジストベーキングプロセスでより正確な精度を提供します。また、TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vは、シングルステージプロセスと比較してより良い結果を提供するデュアルステージプロセス機能を備えています。一連の独立して調節可能なアプリケーター針は、プロセスで使用されるさまざまな化学物質をさまざまな速度で分配し、結果をさらに制御します。また、MARK-Vは独自のオートアライメントユニットを採用しており、部品が厳しい製造公差に準拠することを保証します。また、高精度検査機を搭載しており、結果の印刷性と信頼性を迅速に検証することができます。TEL MARK-Vは、空気イオナイザーを使用して空気中の粒子を減らし、汚染物質を最小限に抑えるクリーンルーム環境で動作します。さらに、オゾンや酸化物などの汚染物質を監視する統合安全ツールを備えており、急激なレベルの上昇に即座に対応します。最後に、TOKYO ELECTRON Mark Vでは、さまざまな用途や圧力に対応した豊富なレシピライブラリを提供しています。Mark Vは、高度な光学系、高出力レーザー、精密光学系、化学製品を組み合わせた、パワフルで汎用性の高い高精度フォトレジストアセットです。セットアップと操作が簡単で、プロのデザイナーとDIY愛好家の両方に最適です。TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vは、幅広い用途とカスタマイズされたレシピで、リソグラフィープロジェクトを最大限に活用するのに最適です。
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