中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293657043 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、半導体集積回路の製造において、リソグラフィ工程で使用される先進的なフォトレジスト機器です。このシステムは、スキャナ、光学ユニット、コントローラ、真空デバイス、プロセスチャンバーで構成されています。TEL Mark Vスキャナは、最大200mmまでの基板にサブミクロン分解能を提供することができます。それはより速いイメージ投射およびより大きい正確さのための二酸化炭素レーザーと合います。光学機械はレーザーのビーム操作のためのミラー、レンズおよび開きを含んでいます。コントローラはチャンバ内でプログラム可能な動作を実行する責任があり、スキャナーヘッドと光学系を制御したり、基板を処理チャンバに供給するために使用することができます。真空装置は、工具の動作に必要な低圧環境を提供します。これは、処理チャンバ内の1-3Pascalsの圧力範囲を維持することができます。プロセスチャンバーは、レーザービームが基板に向けられ、フォトレジストが適用されるリソグラフィープロセスに使用されます。このアセットは、チャンバー内で発生する温度を調節することができ、冷却媒体を備えています。これにより、フォトレジストが基板全体に均等に広がり、露出中の燃焼を防ぎます。TOKYO ELECTRON MARK-Vは、リソグラフィ工程での使用に適した効果的なフォトレジストモデルです。半導体集積回路の製造に使用される場合、業界標準の分解能と精度を提供し、高度な光学、温度、圧力制御の恩恵を受けます。