中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293656063 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、半導体デバイス製造における正のリソグラフィ用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。TEL Mark Vは、TEL、 Ltd。によって開発されたウェーハ製造のための包括的なソリューションの一部であり、高度な自動化と制御を必要とする企業に適しています。TOKYO ELECTRON MARK-Vシステムは、高速レーザビームスキャナを搭載しており、焦点レンズを追加することなく、あらゆる基板タイプで最大30 μ mの動作が可能です。それは非常に一貫した次元および形の非常に微細なパターンを作り出すためにフルフィールドの光強度の変調に統合される精密な光強度制御を提供することができます。また、マークVは、フォトレジスト、フッ素樹脂、フォトレジストダイなど、さまざまなリソグラフィ材料への幅広い露光に適しています。MARK-Vは、露光シーケンスごとに一定の露光時間を確保する高度なスループットオプティマイザを備えた最大スループット用に設計されています。高度なプロセス制御アルゴリズムとバックエンド解析ツールにより、生産歩留まりを維持するために、ユーザーは問題をすばやく検出して対応できます。さらに、ユニットオペレータは、予測トレンドディスプレイを使用して、露光プロセス中でもリアルタイムで異常を検出する機能を備えています。機械は高精度および正確さを提供する専門等級のプロセッサボードによって動力を与えられます。これは、ツールのすべてのコンポーネントが適切に校正され、効率的に動作することを保証するのに役立ちます。また、プロセッサボードは複数の露光シーケンスを同時に処理できるように設計されており、ユーザーは生産性を最大化しながら全体的なコストを最小限に抑えることができます。ハードウェアコンポーネントに加えて、TOKYO ELECTRON Mark Vアセットには、モデルの動作をさらに簡素化するさまざまなソフトウェアパッケージが付属しています。ユーザーフレンドリーなソフトウェアスイートには、高度な画像取得およびパターン登録ツール、およびユーザーが独自のパターンを設計したり、事前に定義されたものを使用して所望の結果を得ることができる後処理ソフトウェアが含まれています。TEL MARK-Vは、ユーザーがアプリケーションに最適なリソグラフィーパターンを迅速かつ正確に作成できるようにすることを目的としています。堅牢なハードウェア、処理能力、洗練されたソフトウェアにより、装置はあらゆる生産プロセスから可能な限り最良の結果を保証します。