中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293646085 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vフォトレジスト装置は、半導体ウェーハ上のフォトレジストパターンを迅速かつ正確に開発および処理するために設計された高性能ウェーハ製造システムです。TEL Mark Vユニットは、高度なレーザーおよびイメージング技術を使用して、高速で正確で一貫したフォトマスク再生を実現します。これにより、ユーザーは、絶対的な再現性と無駄を最小限に抑えたフォトレジストウェハ上でパターンやデザインを作成、保存、再現することができます。このマシンのスキャンレーザーリソグラフィは、複数のレーザー波長と可変スリット位置を使用することができ、複雑なフォトマスク設計を非常に高精度で再生することができます。さらに、このツールは、ステップアンドリピートモードとリピートフライトモードの両方を使用してウェーハスループットをさらに向上させるように設定することもできます。TOKYO ELECTRON MARK-Vアセットには、1枚のフォトマスクを多数のウェハースライスに分割できる高度な画像分割アルゴリズムが搭載されています。この機能により、製造メーカーはウェーハの使用率を最大化し、納期を短縮できます。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vフォトレジストモデルには、完成したフォトレジストパターンを自動検査するための強力なビジョン装置も搭載されています。このシステムは、プロセス全体の速度と精度の両方を確保するために、各ウェーハの状態とジオメトリに関するリアルタイムのフィードバックを提供します。全体として、MARK-Vフォトレジストユニットは、ウェーハ製造のための強力で信頼性が高く、費用対効果の高いプラットフォームをユーザーに提供します。その高度なレーザーおよびイメージング機能により、正確かつ再現性のあるフォトマスク再生、画像分割、検査が可能になり、半導体ウェーハ上で複雑なパターン形成を行うための信頼性と費用対効果の高いシステムが実現します。