中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293620469 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、最も高感度で困難なフォトレジスト被覆基板の開発に使用するために設計されたフォトレジストコーティング装置です。幅広いフォトレジストで基板をコーティングできる高性能・高精度システムです。TEL Mark Vには、フォトレジストを基板に塗布する際に最大限の精度と効率を実現する機能があります。TOKYO ELECTRON MARK-Vは、基板に塗布されたフォトレジスト層の正確で一貫した厚さ、幅、カバレッジを提供する精密コーティング機構を備えています。コーティングも密接に監視されているため、コーティング品質のバリエーションが迅速に特定され、整流されます。これにより、フォトレジストが均一なコーティングで適切に適用されます。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vには、コーティングパラメータを精密に制御できる高度な制御ユニットがあります。これには、コーティングプロセスの速度、圧力、角度の正確な制御が含まれます。コントロールマシンはまた、コーティングプロセスがスムーズに実行され、フォトレジスト層が適切に適用されることを保証するのに役立ちます。TEL MARK-Vのもう一つの特徴は、基板に塗布されたフォトレジストコーティングの厚さと均一性を正確に測定することです。このツールは、正確で自動化されたスペクトルと厚さの測定を使用して、フォトレジスト層が正しく適用されていることを確認します。これにより、オーバーまたはアンダーコーティングによる欠陥を最小限に抑えることができます。MARK-Vはまた、高精度と効率を実現するのに役立つ多くの追加機能を提供しています。これらには、高速コーティング資産、幅広いフォトレジスト機能、特定のユーザーの要件に合わせてカスタマイズできるオプションアクセサリーなどが含まれます。TOKYO ELECTRON Mark Vは、基板へのフォトレジストの正確で一貫したコーティングを可能にする高度なフォトレジストモデルです。高精度コーティング機構、高度な制御装置、正確な測定機能により、フォトレジスト層が正しく適用されます。Mark Vによって提供される特徴および任意付属品の範囲はそれにフォトレジスト上塗を施してある基質の良質のコーティングを追求するそれらのための理想的な選択をします。