中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293620464 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、半導体・プリント基板用マイクロエレクトロニクス回路の製造に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、シリコン、金属、ガラス、石英などの基板上の画像を迅速かつ正確に開発するように設計されています。レーザー駆動の透過露光技術を使用しており、1ミクロン未満のフィーチャーサイズの集積回路を製造できます。TEL Mark Vは、高いアスペクト比を実現する電子ビーム蒸着プロセスを採用しています。これは、フォーカスレーザーダイオードを使用して、基板上のフォトレジスト層にパターンを直接書き込むことによって実現されます。露光ユニットは、露光ベッド、光学部品、および光照射の強度、位置、持続時間を正確に調整するように設計されたコントローラで構成されています。基板は、より効率的な画像プログラミングを可能にする回転露出ベッドに取り付けられています。この機械には、最先端の研磨およびエッチング工具も装備されています。基板の均一性が高く、ロットからロットまで一貫した表面仕上げが可能です。このツールは、均一な結晶構造とタイトな寸法公差で高精度の結果を生成することができます。これは、露光中に光線の焦点を自動的に調整する高度なオートフォーカス機能を使用しているためです。また、レジスト層温度を正確に制御できる高度な温度制御アルゴリズムを搭載し、最適な解像度を実現しています。TOKYO ELECTRON MARK-Vは、高度なソフトウェアと直感的なグラフィカルユーザーインターフェースにより、ユーザーエクスペリエンスを向上させました。これにより、露出アセット内の制御と生産性が向上します。このモデルは、幅広い基板サイズと厚さ、および超高アスペクト比の機能をサポートするように設計されています。また、高度なネットワーキング機能とリモート監視機能を備えているため、複数のサイトやタイムゾーンで共同作業が可能です。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vは信頼性が高く、製品のダウンタイムを最小限に抑えるよう設計されています。これは、外部条件または機器のエラーによって引き起こされる障害から回復する能力があるためです。システムには、故障時に自動的に機械をシャットダウンする安全監視ユニットが内蔵されています。