中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #293591398 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、光源を用いて半導体表面の回路パターンを作成するフォトレジスト機器です。このシステムは、通常、将来のデバイス製造およびR&Dプロセスで使用されます。光源はスキャンレーザーで構成され、フォトレジストでコーティングされた半導体ウェーハの表面に出力を照射します。レーザーは、異なるたわみ角度を使用してウェーハ上に異なるパターンを生成します。フォトレジストは、レーザー光を吸収し、レーザー光の強度と反応するように配合された、放射線感受性材料の一種です。偏向角度を変化させることで、より小さな機能で高解像度の回路パターンを生成することができます。レーザー光学は平行版の整理が付いているレンズ放物線の整理です。また、TEL Mark Vは、高精度制御のためのテレセントリックレンズなど、複数のタイプの統合光学を備えています。レーザーにまたよりよい照明のための延長焦点距離があり、自動的に焦点を微調整するために調節することができます。東京エレクトロンマーク-Vには、レーザービームアライメントマシン（LBAS）などのさまざまなアライメント機能が搭載されており、アライメント調査をプログラミングしたり、さまざまなポスト露出方法を使用してプロセスを微調整したりしています。TOKYO ELECTRON Mark Vには、独自のMDI（マスクデータインタフェース）レイヤが搭載されており、様々なソフトウェアレイヤー間のデータ交換が高速化されています。これにより、データの送受信が可能になり、デバイスのスループットが向上します。このツールには、クリーンルーム対応の露出/アライナーステーションも含まれており、さまざまなトポロジで構成してさまざまなスループット要件に対応できます。アセットは、単一のウェーハ露出装置、または同期技術を使用して複数のウェーハに露出することができます。Mark Vの主な利点は、高スループット、小型のフィーチャーサイズ、複雑なデータ転送に対応できることです。高度なデバイス製造および研究開発プロセスに最適です。