中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #149605 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark Vフォトレジスト装置は、最新の光学設計、微細加工、半導体加工技術を駆使した次世代フォトリソグラフィーシステムです。TEL Mark Vは、マイクロコンポネントの精度と再現性に優れたパターンを再現することができ、半導体チップやマイクロチップ製造に携わる方々に最適です。東京電子マークVは、TEL社が開発した半導体ウェーハにフォトレジストを適用する専用ユニットです。フォトレジスト（Photoresist）とは、放射エネルギーにさらされることで選択的に除去できる材料のことで、半導体製造に不可欠な材料です。TEL MARK-Vマシンは、この特殊材料を使用して、驚異的な精度と再現性で回路パターンを作成します。TOKYO ELECTRON Mark Vツールは、多種多様なフォトレジスト素材を使用した極小スケールで複雑なパターンを再現し、より大きなウェーハを効果的にスピンさせることができます。MARK-Vの特徴は、高精度のステージ、プログラム可能な翻訳テーブル、高度な光学アセットなどです。カルーセルスタイルのステージは、直径4インチまでのウェーハを収容することができます。4つのステッピングモータ駆動テーブルは、コンポーネントや材料を正確に配置するために使用される複数のレシピと自動反復可能な移動でプログラムすることができます。TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vは、高安定性レーザーを搭載した新開発のビームモデルを採用しています。レーザービームは、猫の目のレンズアレイと光ファイバーを介して効率的にワークピースに配信されます。生産に要する時間を短縮するために、Mark Vは複数の同一レシピを同時に実行でき、高いスループットとプロセス時間の短縮を実現します。TEL/TOKYO ELECTRON MARK VのオンボードハイエンドEPC（静電沈殿洗浄機）と、耐薬品性ノズルを標準装備した真空チャック装置で洗浄を行います。TEL Mark Vは、超高精度かつ高性能なマイクロコンポーネント用フォトレジストシステムです。この次世代ユニットは、強力な機能、高いスループット機能、高度な光学設計により、半導体チップおよびマイクロチップ部品の精度と再現性を最大限に高めるように設計されています。