中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #149604 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、電子機器製造におけるリソグラフィに使用される特殊フォトレジスト加工装置です。このシステムは、0。35mmまでの小さな部品の微細なパターンを生成することができます。TEL Mark Vは光を利用して基板上にフォトマスクを露出させ、微細なパターンを生成する光学アライメントユニットです。ミラーは背面からの露出を提供し、調節可能なスリットは細かい焦点を提供します。高精度のプロジェクションレンズは、フォトマスクのイメージを基板に投影してパターンを生成します。さらに、露出偏差の微調整や補正にはハイエンドのCCDカメラを使用しています。TOKYO ELECTRON MARK-Vフォトレジストマシンは、モジュラー性が高く、部品のカスタムアセンブリが特定の要件を満たすように設計されています。この柔軟性により、分解能、焦点、光の露出レベルなど、さまざまな露出パラメータを設定できます。それはリソグラフィの正確さを確保するのに役立つ多くの機能を持っています。高精度プロジェクションレンズとのオートアライメント機能により、解像度と露出精度が向上します。また、大型基板の迅速な加工にも使用できます。また、TEL/TOKYO ELECTRON MARK-Vは柔軟なユーザーインターフェースで設計されています。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を使用すると、各モジュールの独立した制御と障害監視が可能になります。さらに、内部メモリの存在により、長い露光が可能になり、厚いレジスト層のための十分な長いプロセス時間を可能にします。TOKYO ELECTRON Mark Vは、サブミクロンパターニング用の信頼性と精度の高いフォトレジストツールです。これは、高度なリソグラフィおよび製造プロセスに適した優れた解像度、精度、柔軟性、および性能を提供します。この費用対効果の高いフォトレジスト資産は、最新の半導体製造および高度な研究アプリケーションに最適です。