中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark V #149603 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK Vは、高度な半導体デバイス製造のリソグラフィ工程に使用するために設計されたフォトレジスト加工装置です。レジストフィーチャーの制御を強化し、高度な表面平面化機能を提供します。TEL Mark Vは、高密度レジスト設計と繊細な機能を精度と精度で処理することができます。このシステムは、加熱および冷却されたステージ、複数のガス源、およびその他のコンポーネントを備えたクローズドループユニットを使用して、クリーンで温度制御された汚染のない環境を作り出します。動作の均一性、温度・湿度制御、表面平面化など、非常に高い精度とプロセス再現性を実現しています。高精度なフォトレジストコーティングとエッチングを実現するために最適化されています。レジストミキシングチャンバー、スピンコーティングヘッド、レジストストリッピングツール、レジスト除去に役立つホットプレートが含まれています。その他の機能としては、レジスト乾燥室、エッチングチャンバー、およびデバイスのポストプロセス冷却用チラーがあります。TOKYO ELECTRON MARK-Vは、デバイスエンジニアが特定のリソグラフィ要件を満たすために設定を簡単に調整および変更できるように、統合されたユーザーインターフェースで設計されています。速度や温度、圧力、浸漬時間、パワーレベルなどのパラメータの急速な変化を可能にし、精密エッチングおよびコーティング処理を可能にします。さらに、MARK-Vには高度なプロセスモニタリングアセットが装備されており、プロセスや障害の状態をリアルタイムでフィードバックし、再現可能なデバイス製造のための厳密なプロセス制御を保証します。このモデルは、機器の最適な性能を確保するために、自動的に設定を調整します。TEL MARK-Vフォトレジストシステムは、デバイス製造のための高度なツールであり、高い精度とプロセス再現性を提供します。統合されたユーザーインターフェイスとオンボードプロセスモニタリングユニットにより、さまざまなリソグラフィ要件に適応することができます。TOKYO ELECTRON Mark Vは、フォトレジスト加工用の信頼性と効率性の高い機械です。