中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark IV #9282004 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Mark IVは、半導体デバイスの製造に使用されるフォトレジスト機器です。シリコンウェーハ、化合物半導体、SOI （Silicon-on-Insulator）ウェーハなど幅広い基板をサポートするプラットフォーム不可欠システムです。このユニットは、フォトマスク、ダイレクトイメージング、フォトリソグラフィ、薄膜成膜、エッチング、マルチチャンネルフォトリソグラフィなど、幅広い用途に使用できるように設計されています。TEL Mark IVフォトレジストマシンは、高解像度の光学イメージングツールを備えており、さまざまな基板サイズに設定することができます。このアセットには自動化された電動ステージが装備されているため、高スループットプロセスに適しています。また、東京エレクトロンマークIVには照明モデルが内蔵されており、角度や強度の異なる基板の照明が可能です。機器の主な特徴は、特定のアプリケーションにMark IVをカスタマイズするためのさまざまなオプションを提供するモジュラーパッケージです。オンプラットフォームコーティングユニットで構成することができ、ユーザーはレジストコーティング条件を制御することができます。このオプションには、手動および自動スピンコートプロセスとプラズマ活性レジストプロセスも含まれます。また、ステージヒーティングユニットもオプションで温度制御が可能です。TEL/TOKYO ELECTRON Mark IVは、試作・開発に最適な、高速で使いやすいシステムです。高精度で高速なイメージングにより、複雑な基板でも優れた結果が得られます。また、様々な工程に対応できるため、幅広い用途でご使用いただけます。