中古 TEL / TOKYO ELECTRON Mark IV #293669153 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK IVフォトレジスト装置は、ディープウルトラバイオレット（DUV）、コンタクトフォトリソグラフィ、光接近補正（OPC）などの高度なリソグラフィ処理を可能にする総合ソリューションです。このシステムにより、ウェーハからの複雑な高分解能集積回路（IC）の製造が可能になります。TEL Mark IVには、複数のプロセスツールが統合されています。例えば、多波長プロジェクション露光ツール、垂直トラック、フォトレジストトラック、自動レジストハンドリングユニットなどです。多波長の投影露光ツールは、フォトレジストで出現したウェーハに、デバイス配線や形状などの複雑なパターンを描画することができます。レーザー照明と電子ビーム照明を組み合わせることで、線幅を0.3DUVに薄くすることができます。垂直トラックは、プロジェクションツールにさらされている間、ウェーハの位置と向きを管理するプロセス制御を担当しています。OPCなどの高度なアルゴリズムを使用して、パターンを最適化して目的の線幅を達成し、ウェーハに均一な画像を印刷します。フォトレジストトラックは、ウェハの適切な開発とエッチングのためのフォトレジストの開発と回転を制御します。自動化されたレジストハンドリングシステムは、ウェーハの積み降ろしから必要なレジストの分配まで、加工のあらゆる段階でウェーハの取り扱いと保管を正確に制御し、製造中の均一な開発を保証します。東京エレクトロンマークIVは、フォトリソグラフィープロセスのための包括的なソリューションを提供し、IC設計者は高解像度と精度を維持しながら、高度な技術を活用することができます。このアセットは、トランジスタ、メモリチップ、ロジックチップ、セルベースのロジックチップ、およびその他のさまざまなタイプのICの製造に使用できます。さまざまなプロセスフローに適応する能力とコンパクトな設計により、大容量メーカーに最適です。TELとTOKYO ELECTRONの長年の業界をリードする経験に裏打ちされたモデルは、一貫した結果と最大限の製造効率を提供するように設計されています。