中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9269135 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK IIは、半導体製造におけるパフォーマンスパターンに使用されるフォトレジスト機器です。システムの目的は、高度な電子投影アライメント技術を使用してマスクリソグラフィ用の高品質の半導体フォトマスクを作成することです。このユニットには、10インチの大型リニアステージ、高分解能プロジェクションアライメント、高精度レーザー干渉計を備えた8軸マスクアライメントメカニズムが組み込まれています。この高度なアライメント技術により、繰り返しパターニングプロセスのマスク忠実度と安定性が向上します。一体型の検出器ユニットと高度な画像解析機能を活用し、低コントラスト・小線幅でもパターンを正確に検出・識別します。これにより、複雑なパターンの効率的な変更が可能になり、高精度なパターン作成と検査が可能になります。TEL MARK IIは、1。4〜5.5µm深度の高解像度光イメージングツールを採用し、マスクウエハに正確に光を投影します。これにより、マスクウェーハとマスキングエージェントの正確なアライメントが可能になります。さらに、アセットには最大64メガピクセルの画像をキャプチャできるカメラが装備されています。このモデルには、回折、弾性散乱、光発光、二次イオン質量分析、飛行時間質量分析などの自動測定装置も組み込まれています。これは、データ分析の正確性と効率性を確保するのに役立ちます。最後に、最新のユーザーフレンドリーなデザインは、直感的で安全なソフトウェア操作環境を提供します。これには、グラフィカルユーザーインターフェイスとプログラミング言語の統合が含まれます。さらに、システムにはさまざまなソフトウェアツールとライブラリが含まれており、ユーザーが操作を合理化し、ダウンタイムを排除するのに役立ちます。TOKYO ELECTRON MARK IIユニットの高度な機能は、半導体製造におけるフォトレジスト用途に最適なツールです。信頼性の高い高性能パターニングを提供し、最高レベルのデータ分析を確保しながら、運用効率を向上させることができます。