中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9226207 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK IIは、高度な電子回路部品の開発を目的としたフォトレジスト機器です。このシステムは、特別なレーザービームの助けを借りて誘電体と金属の薄い層をパターン化しエッチングする新しいプロセスを利用しています。このレーザービームを使用して、シリコンウェーハなどの基板にフォトレジストの薄い層をパターン化します。このフォトレジストは、基盤となる回路部品を有害なエッチングおよびプロセス液体から保護するためのシールドとして機能し、レーザパターンによりエッチング処理を特定の場所に局在させることができます。このフォトレジストユニットは、高精度かつ高速なパターン検査と微細パターン形成が可能で、半導体製造、プリント基板（PCB）製造、MEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）デバイス製造などの用途に適しています。また、TEL MARK IIは、1工程で複数の基板をパターン化できるバッチモード機能と、外部チップのパターンサイズを簡単に変更できるフルフィールドパターン機能を備えています。東京エレクトロンマークIIは、パターニングエリア基板の向きとサイズを正確かつ迅速に検出できる、高精度で高速なアライメント加工機です。このツールは、オートフォーカスと顕微鏡統合アセットも備えており、より正確なパターン検査を可能にします。さらに、レンズ自動充填装置を内蔵し、任意の領域に素材を素早く充填することができます。これは、充填に必要な材料を事前にプログラムすることができるため、蒸着プロセスから推測を取り除きます。特別なMARK IIミラーシフティングシステムにより、レーザーのビームが必要な領域に正確に入ることができます。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON MARK IIユニットは、自動ウェハトランスファーと効率的なセルフモニタリング機能を備え、試作に適しています。これにより、製造メーカーは素材を1つのプロセスから別のプロセスに手動で転送することなく、素早く回路部品を設計および精製することができます。このマシンは、エッジクリアランスと公差を改善し、プロトタイプ機能をさらに向上させます。全体として、TEL MARK IIツールは、高精度で高速なパターン検査、微細なパターン形成、統合された自動充填およびミラーシフトシステムを提供する高度なフォトレジスト資産です。半導体やプリント基板の製造、試作など幅広い用途に適しています。