中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9226205 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK IIは、日本のエレクトロニクス会社TELが開発したフォトレジスト機器です。このシステムは、フォトレジスト市場で利用可能な最高レベルのプロセス再現性と柔軟性を提供するように設計された半自動フルフィールドイメージング技術です。これは、利用可能な最も包括的なフォトレジストシステムの一つであり、機能と高度な機能の多種多様を提供しています。ユニットの主な構成要素は、アライナー、ステージ、抵抗ステーションです。アライナーは、ウェーハアライメントプロセスを自動化し、サンプルの位置決めに必要な時間を短縮します。また、手動アライメントプロセス中に発生するエラーを排除することでスループットを向上させます。このステージには、最大スループットと正確な位置決めを実現する3軸ポジショナが組み込まれています。レジストステーションは、複数のレジストを同時に分配できる完全自動化されたマシンであり、スループットが向上しコストが削減されます。TEL MARK IIツールにはスキャナーや計測機能も搭載しており、膜厚、材質タイプ、地形など多くのパラメータの詳細な定量測定が可能です。従来のウェーハだけでなく、MEMSウェーハ、ボンデッドウェーハ、薄膜パターンなど幅広い基板に対応できるユニバーサルホルダーを搭載したウェーハハンドリングモデルです。TOKYO ELECTRON MARK IIでは、フォトレジストのプロセスを監視、分析、修正できる高度なコントロールも提供しています。装置の単一低い電力モードのような高度なプロセス制御は、ユーザーが可能な限り低い電力レベルでプロセスを動かすことによってエネルギーを節約することを可能にします。さらに、システムは高度な監視機能を備えており、ユーザーはさまざまなプロセスステップからリアルタイムデータを表示し、その場でプロセスパラメータを調整することができます。MARK IIは、低レベルの変動で高精度な結果を保証し、コストと時間の両方を削減します。これらの機能と柔軟性を組み合わせて、フォトレジスト処理のための信頼性の高い効率的なツールとなります。