中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9226101 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK IIは、フォトレジスト技術を駆使したハイエンドリソグラフィ機器です。フォトレジストは、非常に正確な結果をもたらす微細加工の高度な方法です。TEL MARK IIシステムは、半導体チップの製造用に設計されており、高度なリソグラフィ部品の組み合わせが含まれています。それは2つの主要な要素を利用します。マスクレスアライナーとステッパー。マスクレスアライナーは光源からの光子の流れにフォトマスクの格子構造をさらす装置です。フォトマスクの位置合わせは、一連の鏡とガルバノメーターによって正確に制御されます。ステッパーは、基板上にパターンを正確に配置することができます。ステッパーには可動ステージと一連の計算制御モータがあり、基板の配置を正確に制御します。さらに、ステッパーにはレーザーアライメントとフォーカスユニット、アライメントライト、高解像度イメージングのための調整可能なパルス幅のビーム増強器が装備されています。東京エレクトロンマークIIは、フォトレジスト加工室と併用することもできます。このチャンバーは、フォトレジスト材料を加工し、サンプル基板表面に適用する密閉設備です。フォトレジスト加工段階では、スピンコーティング、ガス活性化、エッチング、ドライフィルム開発など、さまざまな工具を使用できます。MARK IIマシンは、信頼性と正確な結果を提供するため、リソグラフィー処理に最適です。このツールのコンポーネントは十分にマッチしているため、高精度で効率的なナノサイズの回路を作成するために使用することができます。また、TEL/TOKYO ELECTRON MARK IIアセットは、専門的なサービスと修理が可能で、ダウンタイムを最小限に抑えた洗練された部品の作成が可能です。