中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9181759 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK IIは、先進的な半導体デバイスの製造用に設計された、深紫外線（DUV）フォトレジスト装置です。このシステムは、完全に自動化されたレジストおよびエッチング処理ステーションと組み合わされた、フル機能のハイブリッド電子ビームおよびIラインオフ軸露光源で構成されています。このユニットは、高品質の結果を提供しながら、デバイスの製造サイクル時間を短縮しようとする半導体エンジニアに最適です。TEL MARK IIは、低エネルギー密度の電子ビームライティングエンジンを搭載し、レジスト散乱を最小限に抑え、超狭量特性を発揮します。ビーム源は50nm以下の特徴の効率的なパターン化のためにさらに最適化することができます。露出源は、オフアクシスIライン露出源で強化されているため、パターン領域全体を1ステップで迅速に露出できます。マシンは露出源ではありません。また、生産時間を短縮し、プロセス歩留まりを改善するように設計されています。高度に自動化されたレジストコーティング、ベーキングおよび開発ツール、および適応されたエッチング加工モジュールが装備されています。これにより、ユーザーは手作業による介入を最小限に抑えてプロセスシーケンス全体を実行できます。これにより、信頼性と再現性の高いパターニングプロセスが保証されます。TOKYO ELECTRON MARK IIは、グラフィカルユーザーインターフェース（GUI）をベースとした高度なユーザーフレンドリー制御ソフトウェアを搭載しています。GUIは操作時間を短縮し、最も複雑な処理シーケンスでも素早く直感的にアセットを制御できるように設計されています。全体として、MARK IIは、最も困難なパターニング要件を処理できる高度なDUVリソグラフィーモデルです。これにより、ユーザーはプロセス時間を短縮し、歩留まりを向上させ、デバイスの生産品質を向上させることができます。この装置は、信頼性と再現性に完全に自信を持って超低解像度の設計を作成しようとする人々にとって理想的です。