中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9181758 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK IIフォトレジスト装置は、フォトリソグラフィやマイクロエレクトロニクス製造に使用される最先端のフォトレジスト装置です。フォトレジストは、半導体デバイスを製造するために半導体材料にパターンを作成するために使用される光感受性材料です。TEL MARK IIは、最新の技術を駆使し、フォトレジスト加工に精密で再現性のある条件を提供します。このシステムは、プロセッサユニット、デジタルインターフェース、フォトレジストゲインコントローラ、チャンバー制御、ウェハハンドリングユニットなど、いくつかの部品で構成されています。プロセッサユニットは、従来のスピンオンおよびスプレーオンアプリケーションを含む、フォトレジストを処理するための最大30種類のコンテナをサポートできます。これにより、東京エレクトロンマークIIマシンで幅広いフォトレジストを使用することができます。プロセッサユニットには、温度および時間ベースのプログラマブルパラメータ、フォトレジストの品質を評価するためのフォトグラニュロメータのオプションも含まれています。デジタルインターフェイスは、ツールを他のフォトリソグラフィーシステムと容易に統合し、合理化された自動化されたワークフローを可能にします。フォトレジストのゲインコントロールは、露光プロセス中に正しい量の光エネルギーが使用されることを保証します。チャンバー制御モジュールには、真空ポンプと再循環ループを備えた高精度の温度制御が組み込まれており、フォトレジストの一貫したプロセス温度を実現しています。最後に、ウェハハンドリングアセットにより、メインプロセッサユニットからチャンバへの移動中の基板の繊細で正確な移動が保証されます。このモデルには、フォトレジストの厚さを常に監視するセンサーや、リアルタイムのプロセスデータロギングも含まれています。これにより、フォトレジストの厚みの変化を考慮してプロセスを変更し、プロセス時間を短縮することができます。さらに、フォトレジスト環境の温度と湿度を監視する環境センサーもあります。これにより、フォトレジスト処理に最適な条件が維持されます。全体的に、MARK IIは強力で高度なフォトレジスト処理システムです。ユーザーフレンドリーな操作、最高のパフォーマンス、繊細なハンドリングにより、最高品質のフォトレジストを生産するのに最適なユニットです。