中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #9128576 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON MARK II
ID: 9128576
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1991
Developer, 6" 1991 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MARK IIは、可視光リソグラフィとポジティブフォトレジストを組み合わせ、幅広い素材に微細構造を作り出すフォトレジスト機器です。このシステムには、スキャナ、光学アライメントユニット、モノブロック露光モジュールが含まれています。オプティカルアライメントマシンの光学系は、オブジェクトの周りを自由に回転させることができ、さまざまな角度と露光時間で複雑なパターンを書くことができます。光学スキャナは、スキャナ内のスリット内でオブジェクトを移動させ、光学アライメントツールとの相対的な位置を制御することができます。レーザーのビームのプロフィールは調節可能で、レーザー力、焦点および方向の容易な調節を可能にします。露光モジュールはUVランプと石英窓で構成されており、多孔質で紫外線が通過することができます。紫外線ランプは、望ましい微細構造を作成するためにフォトレジスト材料を正確に暴露するために使用される非常に正確な放射を生成します。クォーツウィンドウは、露出プロセスに対する環境要因の影響を軽減するのに役立ちます。アセットは、マイクロストラクチャーの準備のために専用のフォトレジストを使用しています。フォトレジストは、ガラス、シリコン、その他の材料を含むさまざまな基板に適用できます。これにより、幅広い用途に最適です。TEL MARK IIモデルは、複雑で精密な微細構造を作成するために、さまざまな業界で使用されています。電極、フィルタ、マイクロチップ、回路基板などの部品を作成するために使用されます。また、義足や他の医療機器を作成するために使用されます。非常に精密な光源で感光材料を露出させることにより、複雑な構造を作成することができます。TOKYO ELECTRON MARK IIフォトレジストシステムは、精密な微細構造を作成するための高度なツールです。光学式スキャナ、アライメントユニット、露出モジュールで構成されています。この機械は、電極、フィルター、マイクロチップ、回路基板、義肢などのアイテムを作成するために使用されます。高品質のマイクロストラクチャーを生産するためには、多くの業界に不可欠です。
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