中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #293778059 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MARK IIは、半導体フォトレジストを製造する自動フォトリソグラフィ装置です。これは、自動アライメントと露出システムと他の自動機能を組み合わせて、さまざまなフォトレジストとマスキング材料を正確に露出させます。このユニットには、自動アライナーと露出ユニットを備えたウェハステージと、フォトリソグラフィ用途に特化した高度な光学機械およびオートメーションソフトウェアが含まれています。ウェーハステージは、真空チャックを使用してウェーハを所定の位置に保持し、精密なキネマティックマウントツールを使用して、正確で繰り返し可能なステージモーションを保証します。自動化されたアライナーと露出ユニットは、最適化された照明アセットを備えており、高い精度と再現性を維持します。また、高精度な光学モデルを搭載し、光の強度、焦点、波長を精密に調整します。また、自動画像解析および制御ソフトウェアを使用して、正確さと一貫性を確保します。この制御ソフトウェアにより、露光時間、画像解像度、露光パラメータを正確に制御できます。TEL/TOKYO ELECTRON MKIIは、自動化されたアライメントと露光装置により、幅広いフォトレジスト素材を提供しています。これらのフォトレジスト材料は、特定のフォトリソグラフィック目的のパフォーマンスを最適化するために特別に設計されています。これにより、フォトレジストを基板に迅速かつ正確に露出させることができ、フォトレジスト材料の多くは従来の材料と比較して解像度が向上しています。TEL MKIIは様々なマスキング素材にも対応しています。高度なオートメーションソフトウェアにより、メディアの正確かつ再現可能なマスキングと登録、および専門の光学システムによる高解像度イメージングが可能です。このユニットは、より複雑な光場と画像フィールドのマスキングプロセスを可能にします。TOKYO ELECTRON MKIIは、一貫した高品質な結果を提供する効率的で信頼性の高いフォトレジストマシンです。リソグラフィからUV露出、マスキングまで、用途に最適です。自動化されたアライメントと露出ツール、自動化されたソフトウェアコントロール、さまざまなフォトレジストおよびマスキング材料により、フォトリソグラフィのニーズに最適です。