中古 TEL / TOKYO ELECTRON MARK II #293592869 を販売中
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タップしてズーム
TEL/TOKYO ELECTRON MARK IIは、最大4インチウェーハのダイレクトイメージング用に設計されたフォトレジスト機器です。システムの主なコンポーネントは、超高倍率プロジェクションオプティクス、精密ステージ、および統合されたPCとソフトウェアです。TEL MARK IIのプロジェクションオプティクスは、最大814mm × 1。2mm、倍率1。75までの高解像度イメージング機能を提供します。そのイメージングレンズは、統合されたハロゲンランプによって照らされたマルチエレメントズームです。レンズの二重光学断面は、低倍率と高倍率の両方のイメージングを容易にします。さらに、レンズは、異なる倍率レベル間を素早く移動するクローズループ自動高速ズーム動作を備えています。TOKYO ELECTRON MARK IIの精密ステージは、スムーズな動作と高速フォトレジスト動作を実現するよう設計されています。このユニットは、ピエゾ駆動モータを使用して、ウェーハステージを最大1mm/秒で正確に移動させます。ステージは、最大10,000のウェーハ座標を格納する内部メモリマシンによって管理され、ユーザーはそれらの間を素早く移動することができます。ツールの統合されたPCとソフトウェアは、複数の画像フォーマットを処理することができ、異なるウェーハ寸法のために簡単にプログラム可能です。また、ウェーハのさまざまなセクションの画像をシームレスにステッチするための高度なスプライシング機能も提供します。このソフトウェアは、プログラム可能な露出シーケンシング、オートフォーカス、および調整可能なイメージングパラメータなどの高度な機能も提供します。MARK IIは、最大4インチウェーハの効率的で正確なフォトレジストイメージングに最適です。その超高倍率光学と精密ステージは、必要な精度と解像度を提供し、PCとソフトウェアはさまざまな高度なイメージング機能を提供します。
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